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晶體生長電源類
碳化硅單晶生長爐感應加熱電源
發布時間:2020-11-16 21:06:45  閱讀次數:
一. 產品簡介
  碳化硅單晶生長爐感應加熱電源是專為采用氣相沉積法的單晶生長爐而設計的中頻感應加熱電源。整個工作過程采用高精度功率閉環控制,工作頻率自動跟蹤感應圈負載電感量的變化,全程軟開關控制,電磁干擾小。功率因數大于0.92,電源本體轉化效率高于0.96,體積小,損耗低,具有多種控制信號選擇,是替代中頻發電機組和晶閘管中頻熔煉電源的理想節能電源。
  碳化硅單晶生長爐感應加熱電源系列具有使用操作方便、鎖相頻率范圍大、對不同的感應圈適應能力強。可廣泛應用于氣相沉積法的單晶生長爐感應加熱,例如SiC單晶生長爐。
二. 性能指標
  1. 采用柜式一體化設計。
  2. 高精度功率閉環控制,恒功率精度高于0.5%。
  3. 中頻變壓器采用超微晶合金材料或高性能鐵氧體材料,體積小、損耗低、轉化效率高于0.95,諧振電容采用干式低損耗薄膜電容,損耗角小于萬分之二。
  4. 功率器件采用IGBT,以LC串聯諧振方式,工作頻率適應范圍大。
  5. 操作使用方便,100%的啟動成功率,輸出功率1%~100%連續可調。
  6. 具有高可靠性,MTBF大于50000h。
  7. 具有軟啟動、軟關斷功能。
  8. 功率閉環控制,具有限流、限壓、限功率和缺相、過流、過壓、過溫等保護功能。
  9. 自動限壓功能,輸出電壓≥1.1倍額定電壓時,電壓被限制。
  10. 自動限流功能,輸出電流≥1.1倍額定電流時,電流被限制。
  11. 功率因數大于0.92,電源的轉化效率高于0.96。
  12. 中頻電壓、電流、頻率、功率模擬或數字隔離變換輸出和有多種控制信號選擇,可與PLC、上位機通訊,便于監控。
三. 型號說明
四. 技術參數
版板所有
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